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“虽然之前十年，我们一直在和cymer合作，包括目前我们最新的twins1980di，采用的光源也是cymer的……国产仅用在非浸润式型号上。但自从euv亚联成立后……我们的关系还是有点难处的。”

“特别是euv光源，目前精光那边尚拿不出什么好方案来，而cymer好歹提出了lpp方案，而且asml的验证机型也证实了可行。当然，根据荷兰的消息，lpp方案还是存在功率不足的问题……但好歹起了个头对吧？而反观我们这边……国内差一点，霓国人又心怀鬼胎……而老美……你又一直把警惕挂在嘴边……”

郑振川一直说，一直苦笑，最终长叹了一口气：“难呐！”

听到郑振川的感慨，李明柳也颇有些感同身受以跟着一叹。

反倒是苏远山，脸上露出了一抹怪异。

——这二位，似乎都已经忘记了国产光刻机在十五年前是什么鬼样子了……如今二十年不到，宏芯就凭借着双工件台的领先和浸润式光刻，一举成为了全球市场份额最大的光刻机制造商……

这要是放在后世，写成都没人信的。

郑振川居然还不满足……这只能说，人呐，是天然的好了伤疤忘了疼。

不过……老郑说的也确实是事实。

euv亚联虽然成立，且在过去五年中，由远芯主导着拉了十几家单位进来，总共投入了超过五亿美金，这才拿出了眼前这张设计图来。但由于东亚半导体圈肉眼可见的成型，或者说成型之势不可阻挡，以至于……大家都有了各自的小心思。

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